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愛知工業大学 工学部 機械学科

生津 資大 教授

マイクロ・ナノ材料試験技術~薄膜からカーボンナノチューブまで~

装置・デバイス
小間 M-36
プレ 0829-A-43

Aichi Institute of Technology Professor Takahiro Namazu

Micro/Nano Materials Testing Technologies: From Thin Films to Carbon Nanotubes

小間:小間番号   プレ:プレゼンテーション番号

9 産業と技術革新の 基盤をつくろう
出展ゾーン
大学等シーズ展示ゾーン
出展分野
装置・デバイス
小間番号
M-36
大学等シーズ展示ショートプレゼンテーション
0829-A-43
2019年8月29日(木)
会場A
14:40 - 14:45

展示概要

技術概要
電子デバイスには数々の薄膜材料が使われています.デバイスの性能向上と長期信頼性確保には,構成材料である薄膜の機械信頼性を実験的に調べ,得られた物性値を設計に反映させなければなりません.しかし,薄膜の機械物性計測は技術的に困難です.薄膜材料の一軸引張試験,面内二軸引張試験,疲労試験等が可能な独自実験技術を開発し,それらの技術を紹介します.また,MEMS技術を駆使したSEM内引張試験技術も併せて紹介します.

想定される活用例
・カーボンナノチューブ(CNT)の機械物性定量計測(直径1.5~3nmの単層CNTのヤング率1TPa,強度60GPa超の実測に成功)
・薄膜材料のき裂進展その場観察寿命試験
・薄膜材料の強度試験

 

展示のみどころ
カーボンナノチューブ等のナノ材料の引張試験をSEM内で実現する引張試験デバイスを展示する.また,薄膜材料のSEM内引張試験のための実験装置ならびに試験片を展示する.マイクロ~ナノ材料物性取得のための機械工学研究開発の一端を紹介する.

 

SEM内ナノ材料引張試験システム

SEM内ナノ材料引張試験システム / In-situ SEM tensile testing system for nano materials

SEM内薄膜引張試験システム

SEM内薄膜引張試験システム / In-situ SEM tensile testing system for thin films

特許情報

特許情報1 発明の名称
薄膜試験片構造体, その製造方法, その引張試験方法及び引張試験装置
特許情報1 出願人
兵庫県
特許情報1 発明者
生津資大, 長井悠宰
特許情報1 出願日
2007年12月27日
特許情報1 出願番号
特願2007-335667
特許情報2 発明の名称
設置用装置, 試料の設置方法, フォークの製造方法, 及び引張試験システム
特許情報2 出願人
愛知工業大学
特許情報2 発明者
生津資大
特許情報2 出願日
2018年2月6日
特許情報2 出願番号
特願2018-019469

お問い合わせ先

生津 資大

メールアドレス:tnamazu@aitech.ac.jp

電話:0565-48-8121   FAX:0565-48-4555  

URL:https://aitech.ac.jp/~namazu/home.html

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