Innovation Japan 2019 イノベーションが創出する未来の新産業!国内最大規模!産学マッチングのチャンス 入場無料
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工学院大学 先進工学部 応用物理学科

尾沼 猛儀 教授

脱水銀社会を目指した高効率で環境に優しい真空紫外線光源

装置・デバイス
小間 M-23
プレ 0829-A-35

Kogakuin University Professor Takeyoshi Onuma

Development of high-efficiency environmentally-friendly VUV light source to realize mercury-free society

小間:小間番号   プレ:プレゼンテーション番号

8 働きがいも 経済成長も
出展ゾーン
大学等シーズ展示ゾーン
出展分野
装置・デバイス
小間番号
M-23
大学等シーズ展示ショートプレゼンテーション
0829-A-35
2019年8月29日(木)
会場A
13:50 - 13:55

共同研究者

京都大学 工学研究科
教授 藤田 静雄

京都大学 工学研究科
講師 金子 健太郎

展示概要

技術概要
本提案では、岩塩構造をもつ酸化マグネシウム亜鉛(MgZnO)による新しい高輝度固体光源の開発を目指します。酸化マグネシウム(MgO)を起点とした岩塩構造MgZnOは亜鉛組成を変化させることでバンドギャップを7.8~5.6 eVで変化させることができます。直接遷移型半導体のMgOは電子線励起により波長163 nmで発光させることができますが、我々は岩塩構造MgZnOによる新しい高輝度固体光源として、ミスト化学気相エピタキシ法を用いて原子層ステップを有する岩塩構造MgZnO薄膜の結晶成長、及びその結晶を用いたバンド端発光に成功しています。

想定される活用例
・固体真空紫外線を用いたオゾン発生装置
・光化学反応による新材料開発
・半導体素子、ディスプレイパネルなどの製造に利用されるEUVリソグラフィーの光源

 

展示のみどころ
ミスト化学気相エピタキシ法により結晶成長に成功した原子層ステップを有する岩塩構造MgZnO薄膜結晶、その結晶を用いたバンド端発光、及び岩塩構造MgZnO薄膜の試作装置の展示を行う予定です。
当グループは超ワイドギャップ半導体材料を電子線励起することで自然放出から誘導放出までを実現する新たな真空紫外線光源を研究していますが、新たなコンセプトの光源について当グループメンバーと意見交換の出来る場を提供いたします。

特許情報

特許情報1 発明の名称
電子線励起半導体レーザの構造(出願準備中)
特許情報1 出願人
学校法人工学院大学他
特許情報1 発明者
尾沼 猛儀他
特許情報1 出願日
特許情報1 出願番号
特許情報2 発明の名称
小型電子銃を使った光源の構造(出願準備中)
特許情報2 出願人
学校法人工学院大学他
特許情報2 発明者
尾沼 猛儀他
特許情報2 出願日
特許情報2 出願番号

お問い合わせ先

工学院大学 研究推進課

メールアドレス:sangaku@sc.kogakuin.ac.jp

電話:03-3340-3440   FAX:03-3342-5304  

URL:https://www.kogakuin.ac.jp/research/collaboration/application.html

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