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兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 放射光ナノ工学分野

渡邊 健夫 所長・教授

革新的なIoTやAIの世界を切り開く放射光極端紫外線リソグラフィー技術

装置・デバイス
小間 M-57
プレ 0829-A-56

University of Hyogo Director/Professor Takeo Watanabe

Extreme Ultraviolet Lithography Technology using Synchrotron radiation that Breaks the World of Innovative IoT and AI

小間:小間番号   プレ:プレゼンテーション番号

17 パートナーシップで 目標を達成しよう
出展ゾーン
大学等シーズ展示ゾーン
出展分野
装置・デバイス
小間番号
M-57
大学等シーズ展示ショートプレゼンテーション
0829-A-56
2019年8月29日(木)
会場A
16:00 - 16:05

展示概要

技術概要
ヒトの脳の消費電力は僅か20 Wである。一方で、半導体デバイスを基軸とするスーパーコンピュータは16 MWの消費電力を上回っている。革新的なIoTやAIを実現するには、この消費電力の削減が必須である。これまで、国内で大学が有する最大の放射光施設である兵庫県立大学のニュースバル放射光施設で、次世代の半導体微細加工である極端紫外線リソグラフィー技術開発を推進してきた。この技術は2019年度の後半から半導体デバイスの量産技術として使われることになっている。現在、2035年までの半導体微細加工技術開発に取り組んでいる。

想定される活用例
・0.3 V以下の低消費電力を有する電子デバイス開発
・100 Core以上を有するCPUやGPU開発
・超リアルタイムな処理が可能なIoTやAIシステム構築
・ヒトの脳の中にニューロンコンピューティング技術の開発

 

展示のみどころ
将来の自動運転等のではIoTやAI用のハードウェアでは低消費電力を有する電子デバイスが要求されおり、これを実現可能にするのが次世代半導体製造技術である極端紫外線リソグラフィー技術である。この先端技術の実証研究を国内で唯一、兵庫県立大学高度産業科学技術研究所のNewSUBARU放射光施設で精力的に進めている。この内容を分かり易く説明することで、新たな共同研究等の取り組みに発展することを期待する。

お問い合わせ先

兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 放射光ナノ工学研究室 秘書 仙波宛

メールアドレス:senba@lasti.u-hyogo.ac.jp

電話:0791-58-2546   FAX:0791-58-2504  

URL:http://www.lasti.u-hyogo.ac.jp

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