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京都府

プロマティック株式会社

ロードロック型真空R-R装置と撥水処理技術の応用

エネルギー・環境

燃料電池用GDL、タッチパネル用メタルメッシュへの適用

小間 J13-NE
プレ n0829_1_1505
実用化支援

小間:小間番号   プレ:プレゼンテーション番号

出展ゾーン
NEDOゾーン
出展分野
エネルギー・環境
小間番号
J13-NE
プレゼンテーション
n0829_1_1505
2019年8月29日(木)
NEDOプレゼンテーションエリア
15:05 - 15:10

出展概要

製品・技術の名称
ロードロック式真空R-RラジカルCVD装置およびCFxラジカル撥水処理技術

 

展示の概要
・従来になかった新コンセプトの真空処理装置を提案します。「真空R-Rプロセスは高コスト」との概念を半導体プロセスで実績のあるロードロック方式とのハイブリッド化で解消しました。
・また、ポリマーコーティングを真空ドライプロセスで実現することにより、溶剤や乾燥エネルギーの削減を実現します。

 

コアの技術・特許情報
【発明の名称】基材処理方法及び真空処理装置
【出願日】平成29年8月1日(2017.8.1)
【公開番号】特開2019-26906
【出願人】プロマティック株式会社

 

特徴・ポイント
・真空R-R装置をロードロック型にすることにより、設備稼働率を高め加工コストに占める固定費を削減できます。
・膜厚は自己組織化敵に20nm程度に抑制され、均一になります。
・内壁などにも汚れが成長しないためパーティクルの発生がほとんどありません。
・処理膜は紫外線、レーザー、プラズマなどで親水パターン化できます。
・導体に撥水処理しても導電性を維持できます。

 

ビジネスマッチング希望内容
1.燃料電池またはGDLメーカー様
 ・PTFE分散液塗布プロセスよりも均質で安価な撥水処理技術を提供します。
2.タッチパネルまたはフィルム加工メーカー様
 ・低コストな銅メッシュフィルム加工技術を提供します。
3.企業開発部署様
 ・基材の撥水処理受託試作を承ります。
4.フィルム加工メーカー様
 ・R-Rスパッタ、密着性改善、ピーンホール抑制などコンサル承ります

 

主な実績
・燃料電池用GDLプロセスにおける現行PTFE分散液塗布工程をCFxラジカルコーティングに置き換えることにより、発電効率の向上を図れます。
・タッチパネル用銅メッシュパターンを銅箔レス、スパッタレス、レジストレス、エッチングレスのシンプルなプロセスで低コストで作製できます。

 

 

ロードロック式真空R-R装置/Load Lock Type Vacuum R-R System

無電解めっきCuメッシュパターン/Electroless Plating Cu Mesh Pattern

出展者プロフィール

プロマティック株式会社 設立:2005年10月 資本金:1,000万円 従業員数:1名 事業概要:プラズマ、薄膜、静電気等に関する研究開発、コンサルティング、B-Bマッチング等。

お問い合わせ先

本社

メールアドレス:k.fukushima@promatequ.com

電話:075-603-0157  

URL:http://www.promatequ.com/

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